半導體製程類

#交大校區，Thermal Evaporator + Glove Box (TEG)，僅開放委託操作，收費使用，儀器位置：奈米中心 R224室

#交大校區，Smart Equipment Technology (SET), ACCμRA 100，僅開放委託操作，收費使用，儀器位置：奈米中心 R135室

#交大校區，KD-Sputter-Load luck，委託操作，收費使用，儀器位置：奈米中心3F 304室（無塵室）