國科會基礎研究核心設施

奈米製程領域 Nanofabrication

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三五族分子束磊晶系統

三五族分子束磊晶系統

III-V MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM 廠牌型號:Veeco Modular GEN II solid source III-V MBE  儀器專家:林聖迪 教授 分機 31240 信箱 sdlin@mail.nctu.edu.tw  儀器諮詢與操作服務:吳儲君…
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熱蒸鍍系統 Thermal Evaporation System

代碼:SEMI00001300 領域:奈米製程 名稱:熱蒸鍍系統 熱阻絲蒸鍍系統 (Thermal Evaporation Coater) 雙電子槍蒸鍍系統A (Dual E-Gun Evaporation System A) 雙槍蒸鍍系統B (Dual E-Gun Evaporation System B) 儀器專家:鄭裕庭…
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低壓化學氣相沉積系統 (Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPCVD)

低壓化學氣相沉積系統 LPCVD

Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) 廠牌型號:SJ-10301001-1 儀器專家:劉柏村 教授分機 52994 儀器諮詢與操作服務:賴玟言 先生 分機 55606、55616 儀器位置:固態電子系統大樓 1樓127 實驗室分機 55616
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