#交大校區，奈米中心，儀器位置：固態電子系統大樓 1樓137實驗室

OXIDATION & DIFFUSION FURNACES
廠牌型號：森積 SJ-CA1200-D4
儀器專家：劉柏村 教授（分機 52994）
儀器設備管理人員：林聖欽 先生 （分機 55668、55610）
儀器位置：固態電子系統大樓121室

光罩製作系統 圖形產生系統 儀器專家：李佩雯教授 分機54210 儀器諮詢與操作服務：蔡慶祥 先生、黃國華 先生 黃國華 先生 (分機 55659、55667、55616) 蔡慶祥 先生 (分機 55605、55616)  儀器位置：固態電子系統大樓139及118室

III-V MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM 廠牌型號：Veeco Modular GEN II solid source III-V MBE  儀器專家：林聖迪 教授 分機 31240 信箱 sdlin@mail.nctu.edu.tw  儀器諮詢與操作服務：吳儲君…

高真空鍍膜系統 (High Vacuum Deposition System) 真空濺鍍系統 A (Sputtering System A) 真空濺鍍系統 B (Sputtering System B) 儀器位置：固態電子系統大樓 3 樓實驗室

原子層化學氣相沉積系統 固態電子系統大樓129室 儀器專家：趙天生 教授 分機:31367 技術員：詹佳期先生 技術員分機：55662(O)、55616(L)

代碼：SEMI00001300 領域：奈米製程 名稱：熱蒸鍍系統 熱阻絲蒸鍍系統 (Thermal Evaporation Coater) 雙電子槍蒸鍍系統A (Dual E-Gun Evaporation System A) 雙槍蒸鍍系統B (Dual E-Gun Evaporation System B) 儀器專家：鄭裕庭…

高密度活性離子蝕刻系統 (High Density Plasma Reactive Ion Etching System, HDP-RIE) 矽深蝕刻系統 (Si Deep-RIE) 矽淺蝕刻系統 (Shallow Si RIE) 儀器位置：固態電子系統大樓 1樓116…

儀器位置：工程六館 213室 儀器專家：吳耀銓教授 分機31555、崔秉鉞教授 分機31570； 儀器設備管理人員：劉悅恩 小姐 分機 55658/55368

儀器位置：工程六館2樓212室實驗室 (TEL：55337) 儀器專家：譚至善 教授 分機54146；儀器諮詢與操作服務：范秀蘭 小姐 分機55337/55672

儀器位置：固態電子系統大樓 1樓116及121實驗室 介電材料活性離子蝕刻系 A (Dielectric Material RIE-400iP) 介電材料活性離子蝕刻系統 B (Dielectric Materials Reactive Ion Etching System, RIE…

儀器位置：固態電子系統大樓 1樓 116實驗室 (TEL：55666) 儀器專家：林鴻志 教授 分機54193；儀器諮詢與操作服務：賴玟言 先生 分機55606/55616

Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) 廠牌型號：SJ-10301001-1 儀器專家：劉柏村 教授分機 52994 儀器諮詢與操作服務：賴玟言 先生 分機 55606、55616 儀器位置：固態電子系統大樓 1樓127 實驗室分機 55616