分子束磊晶系統 MBE System
#交大校區， SVT Associates, Model 35-V-2 ，委託操作，收費使用，儀器位置：科三館657室
氣相沉積
電漿輔助化學氣相沉積系統 PECVD
儀器位置：固態電子系統大樓 1樓 116實驗室 (TEL：55666)
儀器專家：林鴻志 教授 分機54193；儀器諮詢與操作服務：賴玟言 先生 分機55606/55616
低壓化學氣相沉積系統 LPCVD
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)
廠牌型號：SJ-10301001-1
儀器專家：劉柏村
教授分機 52994
儀器諮詢與操作服務：賴玟言 先生
分機 55606、55616
儀器位置：固態電子系統大樓 1樓127
實驗室分機 55616